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9月5日光刻机（胶）板块较上一交易日上涨0.82%，怡达股份领涨。当日上证指数报收于3199.91，上涨0.42%。深证成指报收于11678.69，下跌0.2%。光刻机（胶）板块个股涨跌见下表：

从资金流向上来看，当日光刻机（胶）板块主力资金净流入2153.04万元，游资资金净流入8560.06万元，散户资金净流出1.07亿元。光刻机（胶）板块个股资金流向见下表：

北向资金方面，当日光刻机（胶）板块北向资金持股市值为91.92亿元，减持1.42亿元。其中增持最多的是南大光电，增持了0.21亿元。减持持最多的是雅克科技，减持了0.55亿元。光刻机（胶）板块北向资金持股变动明细见下表：

融资融券方面，当日光刻机（胶）板块融资净卖出1303.38万元，融资融券余额为127.19亿元。光刻机（胶）板块融资融券个股明细见下表：